Ακρίβεια ακριβείας σε τσιπ

Αρχές της διασποράς και σκεδάσεως κοιλότητας οπτικομηχανικής ακουστικής αίσθησης. α , d Εννοιολογική σχηματικές αναπαραστάσεις του Fabry-ΡΕΚΟΤ κοιλότητα που βασίζεται διασποράς ( α ) και σκεδάσεως ( δ ) αισθητήρες. Σε μια εφαρμοσμένη ακουστική δίσκους ισχύς η δυναμική εκτόξευση ενός κινητού κοιλικού άκρου-καθρέφτης ρύθμισης του μήκους και συντονισμού της συχνότητας της κοιλότητας. Σε δ η δύναμη κινεί ένα μηχανικό στοιχείο που διαμορφώνει το ρυθμό αποσύνθεσης της κοιλότητας. Η διαμόρφωση παρακολουθείται μέσω της μεταβολής της οπτικής μετάδοσης ( Τ opt ) από την κοιλότητα. β ,ε Μετάδοση κοιλότητας υπό την παρουσία διασποράς και σκεδάσης σύζευξης, αντίστοιχα. Οι στερεές μπλε καμπύλες δείχνουν την μεταφορική κοιλότητα για την αρχική θέση του μηχανικού στοιχείου, ενώ οι κόκκινες διακεκομμένες καμπύλες δείχνουν την τροποποιημένη μεταφορική κοιλότητα λόγω της απομάκρυνσης του μηχανικού στοιχείου. c , f Το πλάτος της εξωτερικής δύναμης οδηγείται σε διαφοροποίηση στην μετάδοση (Δ Τ opt ) του οπτικομηχανικού συστήματος κοιλότητας για τη διασπορά και τη σύσπαση της σύζευξης, αντιστοίχως, έναντι της αποσύνθεσης Δ του πεδίου laser εισόδου από την συντονιστική 
Αρχιτεκτονική συσκευή και πειραματική σχηματική. ένα μικροσκόπιο σάρωσης ηλεκτρονίου ενός ομοειδούς μικροδίσκων με εκείνο που χρησιμοποιείται σε αυτή την μελέτη. Το μικροδίσκοι είναι ένα οπτικό κοιλότητα το οποίο είναι φθίνωτα συζευγμένο με μια οπτική οπτική ίνα. Το μπαρ κλίμακας αντιστοιχεί σε 20 μm. β προσομοιώσεις των πεπερασμένων στοιχείων των τρόπων λειτουργίας των δύο τυπικών μηχανικών τρόπων του μικροδίσκου (αριστερά: Λειτουργία χτύπημα δεύτερης τάξης, δεξιά: λειτουργία κορώνα). γ Η φάση ευαίσθητων και θερμικά σταθεροποιημένων πειραματικών διατάξεων χρησιμοποιείται για τον χαρακτηρισμό του αισθητήρα.ΝΡ nanopositioner, MD μικροδίσκων, PD φωτοανιχνευτής, FPC ελεγκτής πολωτικής φθοράς, VOA μεταβλητός οπτικός εξασθενητής, OI οπτικός απομονωτής, FG γεννήτρια λειτουργίας, OSC ψηφιακός παλμογράφος, αναλυτής δικτύου NA, SA αναλυτής φάσματος. η αναλογία της ολικής ακουστικής πίεσης που ενεργεί στη μηχανική δομή, για ένα πλήθος συχνοτήτων. Τα ενθέματα εμφανίζουν την κατανομή της πίεσης στα 105, 281 και 421 kHz, αντίστοιχα; ενώ p / p max είναι ο λόγος της πίεσης με την πίεση στις κοιλότητες του ακουστικού κύματο