Γεωμετρία στοιχείων. ( a ) προβολή 3D. Αποτελείται από τρία στρώματα, δηλαδή ένα στρώμα εδάφους, ένα στρώμα BCB πάχους 100 μm και το στρώμα πρότυπου με αλουμίνιο πάχους 1 μm στην κορυφή του στρώματος BCB. ( β ) Κάτοψη, το στρώμα μοτίβου αποτελείται από δακτύλιο και αντηχείο σε σχήμα Ι. ( γ ) Επιτεύχθηκε φάση έναντι συχνότητας από το στοιχείο. d x = d y = 0,5 mM, r 2 = r 1 - s, r 3 = r 2 - s , w 1 = nr 3 , w 2 = 2 · (1- n / 1,7 / r 3 , s = 30 μm, η = 1.